Clapets anti-retour FLOWLINK

Caractéristiques techniques des clapets anti-retour

Dans le panneau de gaz d’un outil à semi-conducteurs ou dans tout système à gaz, un clapet anti-retour joue un rôle essentiel en matière de sécurité et d’intégrité des processus. Flowlink conçoit des vannes ultra-hautes pureté standard ou sur mesure.

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Les principaux avantages des
clapets anti-retour.

La fonction principale d’un clapet anti-retour est de permettre au gaz de s’écouler dans une seule direction et d’empêcher tout reflux. L’intégration de clapets anti-retour dans les panneaux ou les conduites de gaz est nécessaire afin de :

Empêcher la surpression

Dans la chambre de traitement.
Dans le système d’aspiration des gaz d’échappement.

Empêcher le refoulement

Vers la chambre de traitement.
Des gaz de traitement qui pourraient refluer dans les autres conduites de gaz, des composants sensibles au débit (tels que des régulateurs de débit massique ou des régulateurs de pression), des sources de gaz ou des cartouches.

Autres avantages

Éviter tout mélange inattendu de gaz incompatibles pouvant entraîner des réactions chimiques, une explosion ou des dommages matériels.
Garantir des débits stables indépendamment des variations de pression en aval.
Assurer le débit du gaz de purge ou la ventilation dans la direction requise.
Maintenir la pression interne et l’intégrité des composants ou des outils pendant le transport.

Caractéristiques techniques
principales des clapets anti-retour.

Pressions et températures nominales

Les clapets anti-retour couvrent une large gamme de conditions de fonctionnement en fonction de leur construction :

Plage de pression allant du vide à 30 bars selon le modèle.
Plage de température allant de 0 °C à 120 °C selon le modèle.

Pression de fissuration

La pression d’ouverture est la pression amont minimale requise pour ouvrir la vanne.

Flowlink propose différents modèles de clapets anti-retour avec différentes valeurs de pression d’ouverture. Des vannes à très basse pression, telles que 1 psi, aux valeurs standard, telles que 5 psi.

Compatibilité avec les gaz

Le matériau du joint torique doit être choisi parmi l’EPDM, le Viton, le Kalrez ou le nitrile afin d’assurer une compatibilité adéquate avec les gaz de procédé et une plage de température appropriée. Il existe une solution quelle que soit la nature des gaz de procédé : inertes, corrosifs, pyrophoriques ou oxydants.